四甲基氫氧化銨,五水通常也叫五水合四甲基氫氧化銨，五水四甲基氫氧化銨，或者四甲基氫氧化銨。其化學式為(CH3)4NOH·5H2O，分子量是181.23，CAS號10424-65-4。極易吸潮，有一定的氨氣味，具有強堿性，在空氣中能迅速吸收二氧化碳，通常制10%、25%的水溶液，含5分子結晶水的四甲基氫氧化銨為無色潮解性針狀結晶，加熱到沸點130℃時易分解成三甲胺和甲醇，比重1.00左右。需密封干燥保存。

五水合四甲基氫氧化銨用作硅橡膠、甲基硅油助劑和極譜分析試劑等。在有機硅方面，作為二甲基硅油，苯甲基硅油，有機硅擴散泵油，無溶劑有硅模塑料，有機硅樹脂硅橡膠等的催化劑。在分析方面，作為極譜試劑，在產品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素，在有機硅片生產中常用作計算機硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。四甲基氫氧化銨作為催化劑，其優點是，反應完后加熱升溫，可使之分解為氣體而趕走不殘留在產品中。在使用時皮膚/眼睛接觸，用大量的水沖洗。如有不適感，就醫。 不慎吸入，用水漱口，如果停止了呼吸，給予人工呼吸，如有不適感，就醫。

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